上海华力申请改善有源区边角圆度方法专利解决现有的因有源区的边角的角度偏大器件电性受到影响的问题
栏目:公司新闻 发布时间:2026-02-11 11:49:29

  

上海华力申请改善有源区边角圆度方法专利解决现有的因有源区的边角的角度偏大器件电性受到影响的问题

  金融界2025年7月22日消息,国家知识产权局信息显示,上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“改善有源区边角圆度的方法”的专利,公开号CN120358789A,申请日期为2025年03月。

  专利摘要显示,本发明提供一种改善有源区边角圆度的方法,所述方法包括:提供一半导体结构,其包括衬底,形成于所述衬底内且表面高于所述衬底表面的浅沟槽隔离结构,其中,所述浅沟槽隔离结构间隔排列于所述衬底内,并将所述衬底隔离出多个有源区;于预定所述有源区内进行离子注入以形成N阱,且注入的离子包括P离子及As离子,其中,所述N阱为用于形成核心PMOS器件的N阱;于形成所述N阱的有源区内再注入Ge离子,其用于将形成所述N阱的有源区的边角进行圆化。通过本发明解决了现有的因有源区的边角的角度偏大,器件电性受到影响的问题。

  天眼查资料显示,上海华力集成电路制造有限公司,成立于2016年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2080次,专利信息2337条,此外企业还拥有行政许可343个。

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